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光氧催化利用高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物。光氧催化利用氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。臭氧對有機物具有較強的氧化作用。工業廢氣輸入到凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束和臭氧對工業廢氣進行協同分解氧化反應，使工業廢氣降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。
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